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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱:

Luxtron熒光光纖測溫儀

描述:m920 Luxtron熒光光纖測溫儀包括四通道 m924 和兩通道 m922 半導(dǎo)體模塊,設(shè)計用于蝕刻機和晶圓廠設(shè)備對靜電卡盤,真空腔室和其他設(shè)備的溫度進(jìn)行監(jiān)控。
訪問次數(shù): 3913
更新時間: 2024-04-23

產(chǎn)品介紹

詳細(xì)說明

  • 2 通道或 4 通道可選

  • 模塊,探頭、通道可靈活組合

  • 可靠的設(shè)計- 已安裝上萬套 Luxtron 系統(tǒng)

  • 可為 OEM 應(yīng)用訂制探頭

  • 探頭適用于所有電磁干擾環(huán)境:等離子體、射頻、微波、磁性、高壓

  • 可選配金屬外殼


基于現(xiàn)場可靠性驗證和豐富的技術(shù)應(yīng)用支撐的新型高性能光纖熒光溫度傳感解決方案

LumaSense 擁有超過40年的將光纖溫度解決方案集成到具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用中的經(jīng)驗. 已經(jīng)安裝了數(shù)千個具有可靠性能的 Luxtron OEM 模塊.

靈活的探頭混搭設(shè)計

m920 系列模塊和 LumaSense 探頭相互之間可以任意匹配。 任何 m920 系列模塊都可以與任何通道上的任何探頭一起使用,而無需校準(zhǔn). m920 系列內(nèi)置了與LumaSense 探頭匹配的校準(zhǔn)表,可進(jìn)行高精度測量.

輕松集成到OEM設(shè)備

m920 系列包含兩塊線路板。主板包含光纖熒光測溫度通道,數(shù)字輸出 (RS-232 ASCII, RS-485 Modbus), 和電源連接. 模擬輸出線路板安裝在主板上方,提供 0 … 10V 或 4 … 20mA 輸出. 用戶可根據(jù)實際情況選配保護(hù)外殼.

Luxtron熒光光纖測溫儀m920系列主板解調(diào)來自 Fluoroptic® 探頭的測量信號并將校準(zhǔn)后的溫度報告給 OEM 控制系統(tǒng). 非金屬探頭通過堅固的光纖與主板連接,可在惡劣環(huán)境下應(yīng)用.

向下兼容 LUXTRON m822 和 m600 系列模塊, Luxtron 熒光探頭

m920 OEM 系統(tǒng)適用于當(dāng)前所有的 Luxtron® 品牌的熒光探頭和光纖延長線. Luxtron® 品牌擁有超過25年的經(jīng)驗并在范圍內(nèi)安裝了上萬套系統(tǒng),是光纖溫度測量值得信賴的來源. 此外,m920 系列用戶界面命令與 m822 和 m600 系列 OEM 模塊基本相同.

典型應(yīng)用

  • 等離子刻蝕機卡盤溫度監(jiān)控

  • Shower Head溫度監(jiān)控

  • 真空腔體溫度監(jiān)控

  • 其他晶圓設(shè)備溫度監(jiān)控

  • 使用RF和等離子的半導(dǎo)體和FPD處理

Luxtron熒光光纖測溫儀技術(shù)參數(shù)

通道數(shù)m922: 2
m924: 4
采樣率每個通道高達(dá) 50 Hz
溫度范圍-100 ... 330 °C (取決于探頭)
精度 (取決于探頭)±0.05 °C
溫度分辨率0.01°C
工作溫度-40 °C ... 85 °C
模擬輸出0-10 V or 4-20 mA
串口通訊RS-232 and RS-485
協(xié)議ASCII 和 Modbus (RS-485)
輸入電壓額定+5 … 24VDC  @ 100 mA
尺寸 (主板)23.7 mm (H) x 100.6 mm (W) x 134.4 mm (L)
選配件用于電磁屏蔽的金屬外殼

 

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